用于脆硬性材料的超精密磨削，可磨削光學(xué)鏡片，模壓用鎢鋼模具，光學(xué)玻璃模具，柱銷，套筒等。
可加工工件口徑100mm，表面粗糙度Ra<15nm，面形精度PV<0.3μm。
可加工柱面，球面，錐面，高陡度非球面，鷗翼狀非球面，自由曲面（離軸、柱面）等。
可磨削材料包括：鎢鋼、光學(xué)玻璃、石英玻璃、陶瓷等。
超精密氣體靜壓主軸（工件軸）
超精密靜壓轉(zhuǎn)臺(tái)（B軸）
超精密液體靜壓導(dǎo)軌（X、Z軸）
高轉(zhuǎn)速氣浮磨削軸（砂輪軸）
X/Z軸均采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)控制
PMAC可編程控制器
配置兩套光學(xué)監(jiān)控CCD
在線動(dòng)平衡調(diào)整系統(tǒng)
